利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器和高級電子器件制造等方面。
   結(jié)構(gòu)和工作原理  1958年，聯(lián)邦德國的W.貝克首次提出有實用價值的渦輪分子泵，以后相繼出現(xiàn)了各種不同結(jié)構(gòu)的分子泵，主要有立式和臥式兩種,圖1[立式渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)圖]為立式渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)圖。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子（即動葉輪）、靜葉輪和驅(qū)動系統(tǒng)等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度（一般為150～400米／秒）。單個葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖2[渦輪分子泵的靜葉輪和動葉輪]為20個動葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。
   圖3 [動葉片的工作示意圖]為一個動葉片的工作示意圖。在運動葉片兩側(cè)的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側(cè)（圖3a[動葉片的工作示意圖]）,當氣體分子到達A點附近時，在角度1內(nèi)反射的氣體分子回到左側(cè)；在角度1內(nèi)反射的氣體分子一部分回到左側(cè)，另一部分穿過葉片到達右側(cè)；在角度1內(nèi)反射的氣體分子將直接穿過葉片到達右側(cè)。同理，在葉輪右側(cè)（圖3b[動葉片的工作示意圖]）,當氣體分子入射到B點附近時，在2角度內(nèi)反射的氣體分子將返回右側(cè)；在2角度內(nèi)反射的氣體分子一部分到達左側(cè)，另一部分返回右側(cè)；在2角度內(nèi)反射的氣體分子穿過葉片到達左側(cè)。傾斜葉片的運動使氣體分子從左側(cè)穿過葉片到達右側(cè)，比從右側(cè)穿過葉片到達左側(cè)的幾率大得多。葉輪連續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體分子便不斷地由左側(cè)流向右側(cè)，從而產(chǎn)生抽氣作用。
   性能和特點  泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外，還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為10(～10(;對氫為10(～10(；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于10(。泵的極限壓力為10(帕,工作壓力范圍為10(～10(帕,抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1升＝10(米(）。渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的優(yōu)越性,因此要求配有工作壓力為1～10(帕的前級真空泵分子泵本身由轉(zhuǎn)速為10000～60000轉(zhuǎn)／分的中頻電動機直聯(lián)驅(qū)動。
   參考書目
J . F . O'Hanlou,AUser's  Guide  to  Vacuum Technoloy, John Wiley & Sons,New York,1980.